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- 浩瀚电子级氮中痕量二氧化碳测定气相色谱仪GC7990
详细信息
加工定制：是 品牌：浩瀚 型号：GC7990 测量范围：ppm 测量对象：电子级氢中痕量二氧化碳 控温范围：399 ℃ 功率：2000 w 尺寸：480 mm 重量：46 kg CO：电子级氢中痕量二氧化碳 H2：CO2 室内空气污染物：TVOC 变压器油：多氯联苯 脂肪酸甲酯：环氧乙烷 Gases in the semiconductor industry are collectively referred to as electronic gases. According to their categories can be divided into pure gas, high pure gas and semiconductor special materials gas three categories. Special materials gases are mainly used for epitaxy, doping and etching processes; high purity gases are mainly used as diluent gas and carrier gas. Electronic gas is an important branch of special gas. Electronic gas according to the purity level and the use of occasions, can be divided into electronic scale, LSI (large scale integrated circuit), VLSI (ultra large scale integrated circuit) and ULSI (large scale integrated circuit).
Tengzhou Xiangying Analysis Technology Co. Ltd. by GC7990 gas chromatography, determination of carbon dioxide content of nitrogen in electronic grade, with satisfactory results.
半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
滕州市翔鹰分析技术有限公司采用GC7990气相色谱仪，测定电子级氮中痕量二氧化碳含量，结果满意。
XiangyingGC7990plus特点：
- 卓越的性能，具有竞争力的价格，满足广大客户的选择
- 多行业适应性
3. 在各种苛刻环境下均表现出色
多种进样口可配：填充柱进样口、分流/不分流毛细管进样口、
氢火焰离子化检测器（FID）
***高使用温度：400℃
***小检出限：≤2.5*10 -12 g/s(n-C16)
线性范围：107（±10%）
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