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- haohan电子工业用气体 三氟甲烷分析预柱Porapak Q2m*2mm
详细信息
品牌：haohan 型号：2m*2mm 加工定制：是 测量范围：ppm 测量对象：电子工业用气体 三氟甲烷 控温范围：250 ℃ 尺寸：2000 mm 重量：0.02 Kg 电子工业用气体 三氟�：氧氩 氮：一氧化碳 二氧化碳：氟碳化合物 氧化铝：液化石油气 环氧乙烷：消毒剂 本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装 、标志 、贮运及安全。
本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。
分子式：CHF3
名称：填充柱
固定相：多孔聚合物
规格：2m*2MM(内径）
型号：PQ/Porapak Q
粒度：60-80目
应用：三氟甲烷的中二氧化碳，氟碳化合物的测定
This standard specifies the technical requirements, test methods, packaging, marking, storage, transportation and safety of trifluoromethane for electronic industry.
This standard is applicable to trifluoromethane products prepared with difluoromethane, trichloromethane and hydrogen fluoride as raw materials. It is used as etching gas in the plasma etching process of electronic industry.
Molecular formula: CHF3
Name: Filled Column
Stationary phase: porous polymer
Specification: 2m * 2MM (inner diameter)
Model: PQ/Orapak Q
Particle size: 60-80 mesh
Application: determination of carbon dioxide and fluorocarbon compounds in trifluoromethane -
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