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- 高纯HCl中微量烃类杂质的分析防腐气相色谱仪
详细信息
加工定制：是 品牌：翔鹰技术 型号：XiangyingGC7990plus 测量范围：ppm 测量对象：高纯HCl中微量烃类杂质 控温范围：450 ℃ 功率：2000 w 尺寸：480 mm 重量：45 kg 微量水：高纯HCl中微量烃类杂质 硫化氢：氯化氢 甲烷：C2H2 CO：CO2 羰基硫：氨气 
Used in the production of semiconductor components of high pure HCI, for hydrocarbon impurities content is strictly limited and need to strictly control detection and analysis.Because of the strong chemical reaction ability of hydrogen chloride, the analysis work has encountered special difficulties. In order to perform the analysis, instrument structure components such as sampler, column and detector must be resistant to corrosion and select corresponding adsorbent and stationary liquid phase. In addition, careful drying of samples and carrier gas must be carefully carried out.Tengzhou City Xiangying Analysis Technology Co., Ltd. liquid-phase chromatograph using anti XiangyingGC7990plus gas trace hydrocarbon impurities in high pure HCl method analysis. By cutting back blowing Road, so as to avoid the corrosion of HCl on the detector, the hydrocarbon impurities in the minimum detectable concentration of 0.4 to adapting. The relative error is less than 20%.半导体元件生产中使用的高纯HCI,对于烃类杂质的含量是严格限制的,需要严格加以分析检测和控制。
由于氯化氢的化学反应能力强，致使分析工作遇到了特殊困难。为了进行分析，仪器的结构部件如取样器、柱子、检测器等必须耐腐蚀，并选择相应的吸附剂和固定液相。此外，还必须精心干燥样品和载气。
滕州市翔鹰分析技术有限公司使用防腐XiangyingGC7990plus气相色谱仪分析高纯HCl中微量烃类杂质的方法。采用切割反吹气路,避免了HCl对检测器的腐蚀，对烃类杂质的***低检知浓度可达0.4～0.6ppm,相对偏差小于20％。 -
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