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- 浩瀚电子级气体中痕量甲烷的测定气相色谱仪GC7990
详细信息
加工定制：是 品牌：浩瀚 型号：GC7990 测量范围：ppm 测量对象：电子级气体中痕量甲烷的 控温范围：399 ℃ 功率：2000 w 尺寸：480 mm 重量：46 kg CO：电子级气体中痕量甲烷的 CO2：CH4 H2：O2 N2：乙炔 乙烷：氟化氢 The electron gas (Electronicgases) is a large scale integrated circuit, flat panel display, compound semiconductor device, solar cell, fiber and other raw materials electronic industrial production indispensable, they are widely used in film, etching, doping, vapor deposition, diffusion process. For example, the wafer in the VLSI factory the advanced technology of manufacturing process, all the steps of the process more than 450, of which about 50 electrons to use different gases.
Tengzhou Xiangying Analysis Technology Co. Ltd. by GC7990 gas chromatograph, the content of trace methane gas in electronic grade was determined with satisfactory results.
电子气体(Electronicgases)是超大规模集成电路、平面显示器件，化合物半导体器件， 太阳能电池， 光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的电子气体。
滕州市翔鹰分析技术有限公司采用GC7990气相色谱仪，测定了电子级气体中痕量甲烷的含量，结果满意。
XiangyingGC7990plus特点：- 卓越的性能，具有竞争力的价格，满足广大客户的选择
- 多行业适应性
3. 在各种苛刻环境下均表现出色
多种进样口可配：填充柱进样口、分流/不分流毛细管进样口、
氢火焰离子化检测器（FID）
***高使用温度：400℃
***小检出限：≤2.5*10 -12 g/s(n-C16)
线性范围：107（±10%）
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